تم الإبلاغ عن تصنيع نيتريد السيليكون لأول مرة في عام 1857 بواسطة هنري إدوارد سانت-كلير ديفيل وفريدريك فولر. في تركيبهم، تم وضع بوتقة تحتوي على السيليكون في بوتقة مملوءة بالكربون وتم تسخينها لتقليل تغلغل الأكسجين. أبلغوا عن منتج أطلقوا عليه اسم نيتريد السيليكون، لكنهم لم يتمكنوا من تحديد تركيبه الكيميائي.
في عام 1879، قام بول شوتزينبرجر بتحضير المنتج عن طريق تسخين السيليكون الممزوج بمادة البطانة (معجون يمكن استخدامه كبطانة بوتقة، مصنوع عن طريق خلط الفحم أو قوالب الفحم أو فحم الكوك مع الطين) في فرن لافح وسجله كمركب بتركيبة Si3N4. في عام 1910، قام لودفيج فايس وتيودور إنجلهارت بتحضير Si3N4 عن طريق تسخين عنصر السيليكون في النيتروجين النقي. في عام 1925، قام فريدريش وسيتيج بتصنيع نيتريد السيليكون عن طريق تسخين ثاني أكسيد السيليكون والكربون في جو من النيتروجين إلى 1250-1300 درجة باستخدام الاختزال الحراري للكربون.