في الواقع، هناك العديد من الطرق الأساسية لتخليق نيتريد الفيروسيليكون، بما في ذلك طريقة تخليق الاحتراق الوميضي. ولكي يفهم الجميع سنعرض ذلك بالتفصيل.
طريقة تركيب الاحتراق الوميض، وتسمى أيضًا طريقة تركيب الاحتراق الرأسي المستمر، هي عملية جديدة تم تطويرها في مجال نيترة المعادن في السنوات الأخيرة. ولا تحتوي نيتريد الفيروسيليكون الذي قام بتصنيعه على السيليكون الحر وهو مناسب للكميات الكبيرة. ومع الإنتاج المستمر، تنخفض تكلفة الإنتاج بشكل كبير مقارنة بطرق الإنتاج الأخرى، والتي تعادل فقط عُشر أو ثلث طرق الإنتاج الأخرى.
تتمثل طريقة تصنيع نيتريد الفيروسيليكون بطريقة الاحتراق الوميضي في إضافة 74 ميكرون من المواد الخام لسبائك الفيروسيليكون بشكل مستمر من أعلى فرن الوميض- إلى فرن النيتروجين عند درجة حرارة 1400-1600 درجة مئوية. تشتعل سبيكة الفيروسيليكون 75 عند سقوطها في نيتروجين ذي درجة حرارة عالية. يحترق بسرعة، ويسقط نيتريد الفيروسيليكون الناتج في حمام المنتج تحت تأثير الجاذبية.
إلى جانب نيتريد السيليكون البلوري العمودي، والجسيمات المستديرة الصغيرة من نيتريد السيليكون والفيروسيليكون، فإن مرحلة نيتريد الفيروسيليكون الناتجة عن تخليق الاحتراق الوميض تحتوي فقط على كمية صغيرة من ثاني أكسيد السيليكون وكمية كبيرة من ثاني أكسيد السيليكون في البنية المجهرية. نسبة العرض إلى الارتفاع لبلورة نيتريد السيليكون العمودية عالية. توجد مادة الطور الحديدي على شكل فيروسيليكون وحديد ويتم توزيعها داخل نيتريد السيليكون العمودي. تتميز مواد التغليف المتبلورة ببنية فضفاضة ونشاط عالي.




