وفقًا لطريقة الإنتاج ، يمكن تقسيم منتجات نيتريد السيليكون إلى منتجات تلبيد التفاعل ، ومنتجات الضغط الساخنة ، والمنتجات الملبدة في الغلاف الجوي ، ومنتجات الضغط المتساقطة ، ومنتجات إعادة إطلاق رد الفعل. من بينها ، تلبد التفاعل هو وسيلة تستخدم على نطاق واسع لإنتاج منتجات نيتريد السيليكون الحرارية.
تتيح طريقة تلبيد التفاعل الحصول على منتجات من نيتريد السيليكون عن طريق الضغط أو الضغط على مسحوق السيليكون المطحون الدقيق (لا يتجاوز حجم الجسيمات عادة 80 ميكرون) ، وتجفيف الجسم الأخضر ، وتسخينه إلى {1}} في النيتروجين والنيترنج في عملية التحميص. في طريقة الإنتاج هذه ، يكون لظروف المواد الخام ، وعملية التحميص ، والجو تأثير كبير على أداء المنتج.
يحتوي مسحوق السيليكون على العديد من الشوائب ، مثل Fe و Ca و Al و Ti ، إلخ. يعتبر Fe محفزًا في عملية التفاعل. يمكن أن يعزز نشر السيليكون ، ولكن في الوقت نفسه ، يمكن أن يسبب عيوب مثل المسام. الدور الرئيسي لـ Fe كمضاف: يمكن أن يكون بمثابة محفز في عملية التفاعل ، مما يعزز تكوين فيلم أكسيد SiO2 على سطح المنتج ؛ تشكل نظام ذوبان من الحديد ، ويذوب النيتروجين في FESI2 السائل ، مما يساهم في تكوين -SI3N4. ومع ذلك ، إذا كانت جزيئات الحديد كبيرة جدًا أو عالية جدًا ، فإن العيوب مثل المسام تظهر في المنتج ، مما يقلل من أدائه. بشكل عام ، تكون كمية الحديد المضافة هي 0-5 ٪. تشكل الشوائب مثل AL و CA و TI بسهولة انخفاضات منخفضة مع السيليكون. يمكن أن تعزز كمية مناسبة من الإضافات التلبد وتحسين أداء المنتج.
كلما كان حجم جسيم مسحوق السيليكون ، زاد مساحة السطح المحددة ودرجة حرارة إطلاق النار. بالمقارنة مع مسحوق السيليكون الأكبر ، يحتوي مسحوق السيليكون الدقيق على المزيد من SI3N4 في المنتج. يمكن أن يؤدي تقليل حجم جسيمات مسحوق السيليكون إلى تقليل حجم المسام المجهري في المنتج. يمكن أن تزيد نسبة حجم الجسيمات المناسبة من كثافة المنتج.
درجة الحرارة لها تأثير كبير على معدل النترايد. يبدأ تفاعل النيتراغ عند درجة حرارة 970-1000 ، ويتم تسريع معدل التفاعل عند درجة حرارة حوالي 1250 درجة. في مرحلة درجة الحرارة العالية ، لأنه رد فعل طارد للحرارة ، إذا تجاوزت درجة الحرارة بسرعة نقطة انصهار السيليكون (1420 درجة) ، فقد يحدث تدفق السيليكون ، وسوف يذوب فراغات مسحوق السيليكون القوية وتنهار.